研究人員使用混合增材制作技術，開發(fā)了可完全3D打印的壓電加速度計

2022年8月29日，南極熊獲悉，一組研究人員使用3D打印和噴墨材料沉積的巧妙組合，制造了首個全3D打印壓電式加速度傳感器。

△采用混合3D打印技術，開發(fā)首個全3D打印壓電式加速度傳感器

技術背景
在過去的幾年里，3D打印作為一種合適的機電設備制造方法獲得了極大的關注，因為使用該技術制備的機械結構具有更強的工藝靈活性、更好的產(chǎn)品定制性。

電子機械裝置，如加速度計，通常是由具有機械可移動部件的電氣元件組成。因此，當協(xié)同使用不同的增材制造技術時，如立體光刻（SLA）和噴墨打�。↖JP）被協(xié)同使用時，對這類設備的生產(chǎn)特別有利。

例如，具有差分式電容感應的全金屬化3D打印加速度計，所展示的靈敏度與最先進的微機電系統(tǒng) (MEMS) 加速度計相當或更好。

△對混合3D打印后的壓電式加速度傳感器進行分析

混合3D打印過程
SLA用于使用光固化THERMA DM500樹脂打印單軸加速度計的結構組件，而IJP用于通過沉積聚偏二氟乙烯-三氟乙烯（PVDF-TrFE）壓電層和相應的導電銀電極，來制造壓電讀出部分。

之所以選擇THERMA DM500商用樹脂來打印加速度計的結構部件，是因為它具有高玻璃化轉變和熱降解溫度，考慮到高溫用于對功能性P(VDF-TrFE)層和銀電極進行退火，這是必要的。電暈處理用于增加樹脂表面的親水性。

IJP是一種高效且可擴展的沉積技術，被選擇用于功能層的沉積，因為它提供了一種成本低廉、簡便且可重復的圖案化技術，來制造壓電材料和相應的互連。

所有結構部件和樣品均使用028J Plus SLA機器進行打印，而配10 pL墨盒的Dimatix DMP-2850，用于在基板上噴墨打印底部和頂部電極以及壓電聚合物。在IJP期間，熱床溫度設置為最大值60 °C，以防止咖啡環(huán)效應并確保更快的打印速度。

底部和頂部電極都在沉積后，在130 °C下固化一個半小時。將0.7%純固體P(VDF-TrFE)溶解在含有70% wt的混合物中。二甲基亞砜(DMSO)或30%重量甲基乙基酮(MEK)，在壓電聚合物層打印期間獲得最佳液滴噴射。

保持1.5 kHz噴射頻率、35 V打印電壓和45 °C噴嘴溫度，以打印壓電聚合物層。隨后，P(VDF-TrFE)層在140°C下退火兩個小時。完全3D打印的加速度計，與用于表征的參考加速度計一起安裝在振動臺上。

△該研究已發(fā)表在科學指導，題目為《利用混合3D打印技術，制作基于壓電聚合物的慣性傳感器》（傳送門）

觀察和結果
使用SLA技術有效地制造了兩個3D單軸加速度計，指定為幾何B和幾何A。兩種設計的質量懸掛機制彼此不同。

幾何體A，由8mm x 11mm x 4mm的質量塊組成，并使用兩個7mm x11 mm x345 μm的細長底部和頂部彈簧懸掛。尺寸為17mm x 10mm x 6mm的錨提供固定基板和彈簧之間的連接。

包含兩個銀電極和一個P(VDF-TrFE)層的壓電傳感元件，使用JP沉積在頂部彈簧的寬而平坦的上表面上，托管并在高溫下退火，以獲得第一個完全3D打印的壓電加速度計。

加速度計基于第一個彎曲模式發(fā)生變形，并且在壓電聚合物中產(chǎn)生電壓信號，檢測該電壓信號以確定作用在加速度計上的外部加速度。

同樣，幾何結構B，由11毫米x 8毫米x 2毫米的質量塊組成，并通過兩個7mmx 11mmx 345μm的細長左右彈簧懸掛。

使用兩個尺寸為19mm x 7mm x 6mm的錨，將兩個彈簧連接到固定基板。傳感元件放置在彈簧的頂面上，外部加速度的確定方式與幾何A類似。

P(VDF-TrFE)層在退火和極化后表現(xiàn)出有效的壓電行為。沉積50個P(VDF-TrFE)層以制備5μm 厚的連續(xù)且無針孔的P(VDF-TrFE)薄膜，以確保頂部和底部電極之間的完全絕緣，以防止短路。

在SLA打印過程中引入了支撐，并一直保持到IJP工藝結束，以提供機械支撐以防止聚合物結構不受控制的變形，這歸因于為固化功能層和熱床溫度而進行的退火。

與水平打印樣品相比，使用SLA的垂直打印樹脂樣品的表面粗糙度更高，這需要沉積多個銀層以完全覆蓋樹脂表面。

盡管兩層銀層足以覆蓋樹脂表面，但沉積三層以獲得具有額外厚度的底部銀電極。銀沉積后，樹脂表面略微平整。與壓電層和底部電極相比，頂部銀電極的厚度保持較小，以避免短路。

電暈處理后獲得高度親水的樹脂表面以防止圖案破損。具體來說，銀油墨在處理過的樹脂樣品表面上的分布明顯更好，具有高潤濕性，因為該表面限制了油墨材料的局部聚集并減少了產(chǎn)生微裂紋的機會。

銀納米粒子墨水IJP期間的液滴速度，和噴射頻率分別設置為6ms -1和5kHz，以確�？倶渲�覆蓋率、優(yōu)化層均勻性、最大化圖案精度和最小化打印時間。

打印結構的收縮主要在后固化過程30分鐘內觀察到，后固化過程后的平均收縮率為3.76%。此外，寬度較小的梁的收縮值較大。

在幾何A加速度計中，觀察到從實驗獲得的固有頻率值，與外部加速度5g和1.8g的數(shù)值預測之間存在相當大的差異，這歸因于材料特性和幾何形狀的不確定性。

然而，通過模態(tài)分析估計的幾何B加速度計的固有頻率值，與從實驗中獲得的值非常一致，即使在考慮了制造缺陷和材料特性的不確定性之后也是如此。

綜上所述，兩種設備的靈敏度都比COMSOL Multiphysics v.5.6的數(shù)值預測低一個數(shù)量級，本研究結果有效地證明了3D打印壓電加速度計對加速度的感知能力，以及利用所提出的混合3D打印技術制造中尺度機電傳感器的可行性。